Nederlands
Menu

Opbrengst en kwaliteitsbeheersing

Hoe heet bij de oorzaken van yieldverlies een defect dat zich herhaaldelijk voordoet in een bepaald patroon, bijvoorbeeld door de onderlinge afstemming van ontwerp en productieproces?

  1. ASystematisch defect
  2. BWillekeurig defect
  3. CSoft error
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Systematisch defect

Oorzaken van yieldverlies worden onderverdeeld in willekeurige defecten die kansmatig optreden, bijvoorbeeld door deeltjes, en systematische defecten die reproduceerbaar optreden bij een bepaalde layout of procesvoorwaarde. Systematische defecten verschijnen steeds op vaste plekken, bijvoorbeeld bij patroonvormen die bij belichting gemakkelijk smal worden. Door schaalverkleining is hun aandeel toegenomen en is DFM, dat ze in de ontwerpfase voorkomt, belangrijk geworden. Een soft error is een tijdelijke fout door straling.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Opbrengst en kwaliteitsbeheersing

  1. Welk diagram toont het verband tussen een probleem (resultaat) en de factoren die dit beïnvloeden in de vorm van een visgraat?
  2. Wat is het belangrijkste doel van het analyseren van een wafermap, waarin de wafertestresultaten per chippositie op de wafer als goed of defect zijn weergegeven?
  3. Met welke factor neemt het waferoppervlak bij benadering toe wanneer de waferdiameter bij verder gelijke voorwaarden van 200 mm naar 300 mm gaat?
  4. Welk voorbeeld in een regelkaart moet als afwijking worden beoordeeld, ook al liggen alle punten binnen de regelgrenzen?
  5. Hoe groot is de yield bij benadering volgens het Poissonmodel Y = exp(−D × A) bij een defectdichtheid D = 0,1 per cm² en een chipoppervlak A = 1 cm²?