Méthode qui recense les modes de défaillance possibles d'un produit ou d'un procédé, évalue leurs effets et leur criticité, et définit des mesures préventives.
Nom japonais: FMEA(故障モード影響解析)
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Domaine: Rendement et contrôle qualité
L'analyse des modes de défaillance et de leurs effets (AMDE, FMEA en anglais) est une revue structurée, menée en équipe avant que les problèmes ne surviennent. Pour chaque composant d'une conception ou chaque étape d'un procédé, l'équipe recense les manières dont il pourrait défaillir (modes de défaillance), les conséquences de chaque défaillance (effets), les causes probables et les moyens de maîtrise déjà en place. Chaque mode reçoit ensuite une note de gravité, d'occurrence et de détection, généralement sur des échelles de 1 à 10, une note de détection élevée signifiant que la défaillance est difficile à détecter. Le produit des trois donne l'indice de priorité du risque (RPN), qui classe les points où les contre-mesures doivent porter en premier.
Une AMDE de conception (design FMEA) examine la conception d'un produit, par exemple une puce, un boîtier ou un module, en se demandant comment chaque fonction pourrait défaillir et ce que l'utilisateur constaterait. Une AMDE procédé (process FMEA) examine les étapes de fabrication. Dans une usine de plaquettes, par exemple, une étape de CMP peut défaillir par surpolissage, avec pour effet des lignes de cuivre trop minces et une résistance élevée, causé par une fin d'attaque erronée et détecté par la métrologie d'épaisseur. Les contre-mesures peuvent réduire l'occurrence, par exemple grâce à une régulation run-to-run automatisée, ou améliorer la détection par une inspection supplémentaire. Une fois les actions menées, les notes sont réévaluées et le document est tenu à jour.
Le RPN est pratique mais grossier. Des risques très différents peuvent donner le même produit : une défaillance grave mais rare et facilement détectée peut obtenir la même note qu'une défaillance bénigne et fréquente. C'est pourquoi les équipes considèrent généralement que les modes de gravité élevée, en particulier ceux qui touchent la sécurité, exigent une action quel que soit le RPN. Certaines lignes directrices plus récentes, notamment dans l'automobile, remplacent le RPN par une table de priorité d'action (action priority) qui pondère d'abord la gravité. Les notes sont aussi subjectives : des critères de cotation cohérents et une revue transverse comptent autant que le calcul.
L'AMDE est proactive et procède de bas en haut, des modes de défaillance individuels vers leurs effets. L'analyse par arbre de défaillances (FTA) procède de haut en bas : elle part d'un événement indésirable unique et remonte les combinaisons de causes susceptibles de le produire. Les diagrammes de Pareto et les histogrammes analysent des défauts déjà survenus, la maîtrise statistique des procédés (SPC) surveille les procédés en cours pour détecter les anomalies, le contrôle avancé des procédés (APC) corrige activement les réglages des équipements, et l'étude gage R&R vérifie si un système de mesure est suffisamment précis. Lors de la montée en cadence d'une production de semi-conducteurs, les résultats de l'AMDE déterminent souvent où ces autres moyens de maîtrise sont appliqués.
Réponse : C. APC (contrôle Run-to-Run, etc.)
L'APC (Advanced Process Control) ajuste automatiquement les conditions des équipements à partir des données de mesure afin de réduire la variabilité du procédé. Dans le contrôle Run-to-Run représentatif, par exemple, si l'épaisseur mesurée à l'étape précédente est trop forte, la durée de la CMP suivante est allongée. Contrairement à la SPC, qui surveille les anomalies et arrête le procédé, il corrige activement pour ramener vers la cible. L'AMDE (FMEA) sert à l'évaluation préalable des risques, et l'analyse de Pareto à l'identification des priorités.
Réponse : C. FMEA (analyse des modes de défaillance et de leurs effets)
L'AMDE (FMEA) énumère les modes de défaillance possibles de chaque composant ou étape, note la gravité des effets, la fréquence d'occurrence et la facilité de détection, et détermine les éléments à traiter en priorité à l'aide, par exemple, de l'indice de priorité de risque obtenu par leur produit. Plutôt que de rechercher les causes après coup, elle vise à prévenir les problèmes avant qu'ils surviennent, et s'utilise lors de la conception et du démarrage des procédés. Le diagramme de Pareto et l'histogramme servent à analyser des données déjà constatées.
AMDE signifie analyse des modes de défaillance et de leurs effets (en anglais failure mode and effects analysis, FMEA). C'est une méthode qui recense les défaillances possibles d'un produit ou d'un procédé, évalue leurs effets et planifie des contre-mesures avant qu'elles ne surviennent.
Le RPN est le produit des notes de gravité, d'occurrence et de détection, chacune généralement cotée de 1 à 10. Les valeurs les plus élevées désignent les risques à traiter en premier, même si les éléments de gravité élevée exigent généralement une action quel que soit le RPN.
L'AMDE part des modes de défaillance individuels et avance vers leurs effets, en couvrant l'ensemble de la conception ou du procédé. L'arbre de défaillances part d'un événement indésirable précis et remonte vers ses causes à travers un arbre logique.
L'AMDE (FMEA) sert à l'évaluation préalable des risques, et l'analyse de Pareto à l'identification des priorités.
Quel type de contrôle corrige automatiquement les condition…L'AMDE (FMEA) énumère les modes de défaillance possibles de chaque composant ou étape, note la gravité des effets, la fréquence d'occurrence et la facilité de détection, et détermine les éléments à traiter en priorité à l'aide, par exemple, de l'indice de priorité de risque obtenu par leur produit.
Quelle méthode recense les modes de défaillance possibles d…APC (contrôle avancé des procédés) CMP SPC (maîtrise statistique des procédés) Diagramme de Pareto Carte de contrôle Défaut systématique Défaut tueur (killer defect) Diagramme causes-effet Indice de capabilité du procédé (Cpk) Modèle de rendement de Poisson