Wat is Donor?

Doteerstof die elektronen aan een halfgeleider levert. In silicium zijn dit elementen uit groep V, zoals fosfor (P) of arseen (As), die een n-type halfgeleider vormen.

Japanse benaming: ドナー

“Donor” komt voor in 7 oefenvragen uit 4 onderwerpen, bijv. Siliciumwafers, Halfgeleiderfysica, Ionenimplantatie.

Vakgebied: Halfgeleiderfysica

Nu oefenen: vragen over Donor

Wanneer CZ-silicium rond 450 °C wordt verhit, kunnen zuurstofatomen zich verzamelen en als donor werken, waardoor de soortelijke weerstand van de wafer verandert. Hoe heet dit?

  1. AGettersite
  2. BThermische donor
  3. CDiepe acceptor
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Thermische donor

Wanneer CZ-silicium met interstitieel zuurstof bij 350 tot 500 °C wordt verhit, ontstaan clusters van enkele zuurstofatomen die als donor werken en elektronen afgeven (thermische donor). Ze vormen zich het snelst rond 450 °C en bereiken maximaal circa 10¹⁶ cm⁻³, zodat vooral bij p-type wafers met lage concentratie de soortelijke weerstand sterk verandert of het type omslaat naar n. Ze kunnen worden gedoofd met een korte warmtebehandeling bij circa 650 °C of hoger, wat bij de levering van de wafer wordt uitgevoerd.

“Donor” in de toelichting

Vragen met “Donor” (7)

  1. Wanneer CZ-silicium rond 450 °C wordt verhit, kunnen zuurstofatomen zich verzamelen en als donor werken, waardoor de soortelijke weerstand van de wafer verandert. Hoe heet dit?
  2. Welke uitspraak is juist wanneer fosfor (P) als dopant aan silicium wordt toegevoegd?
  3. Hoeveel valentie-elektronen (buitenste-schilelektronen) heeft één siliciumatoom?
  4. Op welke plaats komt silicium voornamelijk terecht wanneer het aan GaAs wordt toegevoegd om n-type te verkrijgen?
  5. Welk effect is bekend van het toevoegen van een geringe hoeveelheid stikstof (stikstofdotering) tijdens de groei van CZ-kristal?
  6. Wat is het juiste hoofddoel van een anneal (warmtebehandeling) na ionenimplantatie?
  7. Welke combinatie van in silicium geïmplanteerde dopeerstof en geleidingstype is juist?

Verwante termen

Acceptor Ionenimplantatie GaAs (galliumarsenide) Numerieke apertuur (NA) CMOS Auger-recombinatie Bandgap (bandkloof) Diffusielengte Effectieve massa Einstein-relatie

Naar de woordenlijst