수율과 품질 관리

앞 공정의 계측 결과 등을 바탕으로 다음 로트나 웨이퍼의 장비 가공 조건을 자동으로 보정하는 제어는 무엇입니까?

  1. AFMEA
  2. B파레토 분석
  3. CAPC(Run-to-Run 제어 등)
정답과 해설 보기

정답: C. APC(Run-to-Run 제어 등)

APC(Advanced Process Control)는 계측 데이터를 이용해 장비 조건을 자동으로 조정하여 공정 산포를 줄이는 제어입니다. 대표적인 Run-to-Run 제어에서는 예를 들어 앞 공정에서 측정한 막 두께가 두꺼우면 다음 CMP의 시간을 늘립니다. 이상을 감시하여 멈추는 SPC와 달리, 적극적으로 보정하여 중심으로 모으는 기법입니다. FMEA는 사전 리스크 평가, 파레토 분석은 중점 항목 발견에 사용합니다.

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