Opbrengst en kwaliteitsbeheersing
Wat is het juiste doel van het beoordelen van productievariatie, uitgesplitst naar factoren zoals tussen loten, tussen wafers en binnen de wafer?
- AWeten op welk niveau de variatie groot is, om het proces of de apparatuur die de oorzaak is, te kunnen afbakenen
- BDe verkoopprijs van het product bepalen
- CDe kleur van de wafers gelijk maken
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Weten op welk niveau de variatie groot is, om het proces of de apparatuur die de oorzaak is, te kunnen afbakenen
Afhankelijk van het niveau van de variatie zijn andere oorzaken verdacht: bij grote variatie tussen loten verandering van materiaal of apparatuurtoestand in de tijd, bij grote variatie tussen wafers verschillen tussen kamers of de verwerkingsvolgorde, en bij grote variatie binnen de wafer de uniformiteit over de wafer van de apparatuur. Wanneer de grootte per factor wordt bepaald met onder meer variantieanalyse, kan met de meest effectieve maatregel worden begonnen. Het dient niet om prijs of kleur te bepalen.