Welke methode etst defecten selectief ondiep, zodat dislocaties en stapelfouten in siliciumkristal met een optische microscoop kunnen worden waargenomen?

Antwoord: B. Selectief etsen (zoals Secco-etsen)

Bij selectief etsen worden chemicaliën gebruikt waarmee het vervormde gebied rond een defect sneller wordt geëtst dan de omgeving (Secco-vloeistof op basis van chroomzuur, Wright-vloeistof, chroomvrije vloeistoffen enzovoort), zodat defecten als putjes (pits) zichtbaar worden. Uit de vorm van de putjes wordt het type defect beoordeeld en uit het aantal de dichtheid. Het is een basismethode voor kwaliteitsbeheer van kristallen, maar het is destructieve inspectie en er wordt ook overgestapt op chemicaliën met minder milieubelasting.