SRAM en flashgeheugen
Hoe heet de structuur in 3D-NAND waarvan de uiteinden trapsgewijs zijn bewerkt om de wordlijnen van elke gestapelde laag te kunnen verbinden?
- ATrapstructuur (staircase)
- BDamascene-structuur
- CTrenchstructuur
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Trapstructuur (staircase)
Omdat in 3D-NAND honderden geleidende lagen die wordlijnen vormen op elkaar zijn gestapeld, wordt de rand van de array trapsgewijs bewerkt zodat het bovenvlak van elke laag vrijkomt, en daar worden contacten geplaatst. De trap wordt gemaakt door herhaaldelijk te etsen terwijl de resist geleidelijk wordt teruggetrokken, dus naarmate het aantal lagen toeneemt, wordt het proces langer en groeit ook het oppervlak van de trap. Daarom wordt het oppervlak beperkt door de trap in meerdere kolommen te verdelen of ook in een andere richting treden aan te brengen.