SRAM und Flash-Speicher

Wie heißt bei 3D-NAND die Struktur, bei der die Enden der gestapelten Lagen stufenförmig bearbeitet sind, um die Wortleitungen jeder Lage zu kontaktieren?

  1. ATreppenstruktur (Staircase)
  2. BDamascene-Struktur
  3. CTrench-Struktur
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Antwort: A. Treppenstruktur (Staircase)

Bei 3D-NAND sind leitende Lagen, die als Wortleitungen dienen, zu Hunderten gestapelt; der Rand des Arrays wird daher treppenförmig bearbeitet, um die Oberseite jeder Lage freizulegen, und dort werden Kontakte aufgesetzt. Die Treppe entsteht durch wiederholtes Ätzen bei schrittweise verkleinertem Resist; mit mehr Lagen wird der Prozess länger, und die Fläche der Treppe wächst. Um die Fläche zu begrenzen, wird die Treppe in mehrere Reihen geteilt oder auch in anderer Richtung gestuft.

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