Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

Welke combinatie van hoofdsoorten procesmaterialen die bij de halfgeleiderproductie worden gebruikt is juist?

  1. AWafers, gassen, chemicaliën, fotoresist, sputtertargets, CMP-slurry enz.
  2. BHout, papier, stof
  3. CBenzine, gasolie, kerosine
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Wafers, gassen, chemicaliën, fotoresist, sputtertargets, CMP-slurry enz.

Bij de halfgeleiderproductie worden, naast de wafer als substraat, honderden soorten hoogzuivere materialen gebruikt: diverse gassen voor afzetting en etsen, chemicaliën voor reiniging en etsen, fotoresist voor belichting, sputtertargets en CMP-slurry en -kussens. Ook in de backend zijn materialen nodig zoals leadframes, bonddraden, omhulhars en pakketsubstraten. De productie stopt als er één ontbreekt, dus een stabiele levering van materialen is een vraagstuk voor de hele industrie.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

  1. Welke methode is geschikt voor de gebruikelijke opslag van fotoresist?
  2. Waarvoor wordt in een halfgeleiderfabriek ultrazuiver water in de grootste hoeveelheid gebruikt?
  3. Wat is de belangrijkste reden dat voor gassen en chemicaliën die bij de halfgeleiderproductie worden gebruikt een zeer hoge zuiverheid vereist is?
  4. Welke combinatie van materiaal en oppervlaktebehandeling wordt gewoonlijk gebruikt voor leidingen van hoogzuivere gassen?
  5. Welk apparaat in afzet- en etsapparatuur meet de gasstroom nauwkeurig en regelt die constant?