Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

Wat is de belangrijkste reden dat voor gassen en chemicaliën die bij de halfgeleiderproductie worden gebruikt een zeer hoge zuiverheid vereist is?

  1. AOm de geur weg te nemen
  2. BOmdat zelfs kleine hoeveelheden onzuiverheden zoals metalen en deeltjes de eigenschappen en opbrengst van componenten verslechteren
  3. COm de prijs te verhogen
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Omdat zelfs kleine hoeveelheden onzuiverheden zoals metalen en deeltjes de eigenschappen en opbrengst van componenten verslechteren

Zeer kleine hoeveelheden metalen zoals ijzer en koper in gassen en chemicaliën vormen, als ze in silicium komen, niveaus halverwege de bandkloof en veroorzaken meer lekstroom en een kortere levensduur van ladingdragers. Deeltjes veroorzaken ontbrekende delen van patronen en kortsluiting. Omdat miljarden transistors met afmetingen van enkele tientallen nm worden geplaatst, maakt zelfs één defect de chip defect, en beheer in ppb en ppt is nodig.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

  1. Welke combinatie van materiaal en oppervlaktebehandeling wordt gewoonlijk gebruikt voor leidingen van hoogzuivere gassen?
  2. Welk apparaat in afzet- en etsapparatuur meet de gasstroom nauwkeurig en regelt die constant?
  3. Wat is de juiste samenstelling van de positieve resist die veel is gebruikt voor g-lijn- en i-lijnbelichting?
  4. Welk materiaal wordt veel gebruikt voor leidingen en containers van sterk corrosieve chemicaliën zoals fluorwaterstofzuur?
  5. Wat is de gebruikelijke methode om stikstofgas, dat in grote hoeveelheden in halfgeleiderfabrieken wordt gebruikt, dicht bij de fabriek te produceren?