Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)
Wat is de belangrijkste reden dat voor gassen en chemicaliën die bij de halfgeleiderproductie worden gebruikt een zeer hoge zuiverheid vereist is?
- AOm de geur weg te nemen
- BOmdat zelfs kleine hoeveelheden onzuiverheden zoals metalen en deeltjes de eigenschappen en opbrengst van componenten verslechteren
- COm de prijs te verhogen
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Omdat zelfs kleine hoeveelheden onzuiverheden zoals metalen en deeltjes de eigenschappen en opbrengst van componenten verslechteren
Zeer kleine hoeveelheden metalen zoals ijzer en koper in gassen en chemicaliën vormen, als ze in silicium komen, niveaus halverwege de bandkloof en veroorzaken meer lekstroom en een kortere levensduur van ladingdragers. Deeltjes veroorzaken ontbrekende delen van patronen en kortsluiting. Omdat miljarden transistors met afmetingen van enkele tientallen nm worden geplaatst, maakt zelfs één defect de chip defect, en beheer in ppb en ppt is nodig.
Verder: nog 9 vragen over Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)