Waarvoor wordt in een halfgeleiderfabriek ultrazuiver water in de grootste hoeveelheid gebruikt?

Antwoord: C. Reinigen en spoelen van wafers

Ultrazuiver water wordt in grote hoeveelheden gebruikt bij het spoelen na reiniging met chemicaliën en bij het reinigen van wafers dat in elke processtap plaatsvindt. In grote fabrieken kan het verbruik tienduizenden tonnen per dag bedragen, en installaties die het gebruikte spoelwater terugwinnen en weer tot ultrazuiver water maken zijn belangrijk. Om ionen, organische stoffen, deeltjes en opgeloste gassen tot het uiterste te verwijderen, wordt het gemaakt met een combinatie van omgekeerde osmose, ionenwisseling, UV-oxidatie en ultrafiltratie.