Quelle combinaison de gaz est appropriée pour l'émission d'un laser excimère ArF ?

Réponse : C. Argon et fluor (avec un gaz tampon comme le néon)

Le laser excimère ArF excite par décharge un mélange de petites quantités d'argon et de fluor dilué dans un gaz tampon de néon, et émet une lumière de 193 nm. Un excimère est une molécule liée uniquement à l'état excité (excited dimer) ; elle se dissocie en revenant à l'état fondamental, ce qui donne efficacement de l'ultraviolet. Le laser excimère KrF (248 nm) utilise le krypton et le fluor. Ni l'oxygène et l'azote, ni l'hydrogène et l'hélium n'émettent de lumière à 193 nm.