常用來表示半導體用高純度氣體或化學品中雜質濃度的單位為下列何者？

正確答案：A. ppb（十億分之一）或ppt（一兆分之一）

在半導體用材料中，金屬雜質等以ppb（10⁻⁹）或ppt（10⁻¹²）為單位來管理。晶圓表面的金屬汙染即使只有10¹⁰ atoms/cm²左右就會成為問題，因此化學品或氣體中所含的雜質也必須低到與其相符的程度。%是百分之一的單位，用來表示半導體材料的雜質太過粗略。kg是質量的單位，並非表示濃度。