공정 재료(가스와 케미칼)
반도체용 고순도 가스나 약액의 불순물 농도를 나타내는 데 자주 쓰이는 단위는 무엇입니까?
- Appb(10억분의 1)나 ppt(1조분의 1)
- B%(100분의 1)만
- Ckg
정답과 해설 보기
정답: A. ppb(10억분의 1)나 ppt(1조분의 1)
반도체용 재료에서는 금속 불순물 등을 ppb(10⁻⁹)나 ppt(10⁻¹²) 단위로 관리합니다. 웨이퍼 표면의 금속 오염은 10¹⁰ atoms/cm² 정도여도 문제가 되므로, 약액과 가스에 포함된 불순물도 그에 걸맞게 낮아야 합니다. %는 100분의 1 단위로, 반도체 재료의 불순물을 나타내기에는 너무 거칩니다. kg은 질량 단위이며 농도를 나타내는 것이 아닙니다.