Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques)

Quelles unités utilise-t-on couramment pour exprimer la concentration d'impuretés des gaz et produits chimiques de haute pureté pour semi-conducteurs ?

  1. ALe ppb (partie par milliard) et le ppt (partie par billion)
  2. BUniquement le % (partie par cent)
  3. CLe kg
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Réponse : A. Le ppb (partie par milliard) et le ppt (partie par billion)

Pour les matériaux semi-conducteurs, les impuretés métalliques, etc. sont contrôlées en ppb (10⁻⁹) et en ppt (10⁻¹²). Une contamination métallique de surface des plaquettes d'environ 10¹⁰ atoms/cm² posant déjà problème, les impuretés des produits chimiques et des gaz doivent être aussi faibles en proportion. Le %, qui représente un centième, est bien trop grossier pour exprimer les impuretés des matériaux semi-conducteurs. Le kg est une unité de masse et n'exprime pas une concentration.

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