Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques)
Quelles unités utilise-t-on couramment pour exprimer la concentration d'impuretés des gaz et produits chimiques de haute pureté pour semi-conducteurs ?
- ALe ppb (partie par milliard) et le ppt (partie par billion)
- BUniquement le % (partie par cent)
- CLe kg
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Réponse : A. Le ppb (partie par milliard) et le ppt (partie par billion)
Pour les matériaux semi-conducteurs, les impuretés métalliques, etc. sont contrôlées en ppb (10⁻⁹) et en ppt (10⁻¹²). Une contamination métallique de surface des plaquettes d'environ 10¹⁰ atoms/cm² posant déjà problème, les impuretés des produits chimiques et des gaz doivent être aussi faibles en proportion. Le %, qui représente un centième, est bien trop grossier pour exprimer les impuretés des matériaux semi-conducteurs. Le kg est une unité de masse et n'exprime pas une concentration.
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