Oxidatie en diffusie

Hoeveel keer zo groot wordt de afstand waarover onzuiverheden zich verspreiden ongeveer wanneer de diffusietijd bij dezelfde temperatuur 4 keer zo lang wordt?

  1. A4 keer
  2. B16 keer
  3. C2 keer
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. 2 keer

Een maat voor de afstand waarover onzuiverheden zich door diffusie verspreiden is √(Dt) en is evenredig met de wortel van de tijd, dus bij 4 keer zo lange tijd wordt de afstand slechts 2 keer zo groot. De diffusiecoëfficiënt D hangt daarentegen exponentieel van de temperatuur af en verandert bij 100 °C verschil ongeveer een orde van grootte, dus om diffusie ondiep te houden werkt temperatuurverlaging sterker dan tijdverkorting. Dat in geavanceerde processen milliseconde-anneal wordt gebruikt, is om √(Dt) klein te houden door de tijd extreem kort te maken, ook bij hoge temperatuur.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Oxidatie en diffusie

  1. Welke combinatie van verdelingsvormen is juist voor diffusie bij constant gehouden oppervlakteconcentratie (constante-oppervlakteconcentratiediffusie) en diffusie van een vaste hoeveelheid onzuiverheden (eindige-hoeveelheidsdiffusie)?
  2. Welke verbinding wordt gebruikt als vloeibare diffusiebron bij het inbrengen van fosfor in silicium door thermische diffusie?
  3. Welke indeling van de soorten lading in de oxidefilm en aan het grensvlak van een MOS-structuur wordt algemeen gebruikt?
  4. Welke relatie tussen oxidedikte en tijd is juist in het begin van thermische oxidatie (wanneer de oxidefilm nog dun is) volgens het Deal-Grove-model?
  5. Welke relatie tussen de dikte van het veldoxide dat voor elementisolatie zoals LOCOS wordt gebruikt en de dikte van het gate-oxide van een MOSFET is in het algemeen juist?

Vergelijkingen bij dit onderwerp