산화와 확산
열확산에서 표면의 불순물 농도를 일정하게 유지하며 확산시키는 경우(정표면 농도 확산)와 정해진 양의 불순물을 확산시키는 경우(유한량 확산)의 분포 형태의 조합으로 올바른 것은?
- A정표면 농도: 보오차 함수(erfc) 분포, 유한량: 가우스 분포
- B둘 다 직선적인 분포
- C정표면 농도: 가우스 분포, 유한량: 보오차 함수 분포
정답과 해설 보기
정답: A. 정표면 농도: 보오차 함수(erfc) 분포, 유한량: 가우스 분포
표면 농도를 일정하게 유지하는 프리디포지션에서는 분포가 보오차 함수(erfc) 형태가 되며 시간이 지날수록 도입되는 양이 늘어납니다. 도입한 일정량의 불순물을 밀어 넣는 드라이브인에서는 총량이 일정한 채로 퍼지며, 표면 농도가 내려가면서 가우스 분포 형태가 됩니다. 이 둘을 조합하면 표면 농도와 접합 깊이를 따로 조정할 수 있습니다. 실제 고농도 확산에서는 이러한 이상적인 형태에서 벗어납니다.
- A. 올바릅니다. 정표면 농도는 erfc, 유한량은 가우스 분포입니다.
- B. 확산 분포는 직선이 되지 않습니다.
- C. 조합이 반대입니다.