Welche Kombination der Verteilungsformen ist richtig bei der thermischen Diffusion mit konstant gehaltener Oberflächenkonzentration (Diffusion mit konstanter Oberflächenkonzentration) und bei der Diffusion einer festen Störstellenmenge (Diffusion mit endlicher Menge)?

Antwort: A. Konstante Oberflächenkonzentration: komplementäre Fehlerfunktion (erfc), endliche Menge: Gauß-Verteilung

Bei der Predeposition mit konstant gehaltener Oberflächenkonzentration hat die Verteilung die Form der komplementären Fehlerfunktion (erfc), und die eingebrachte Menge nimmt mit der Zeit zu. Beim Drive-in, bei dem eine eingebrachte feste Menge eingetrieben wird, breitet sich die Gesamtmenge unverändert aus, und es entsteht bei sinkender Oberflächenkonzentration eine Gauß-Verteilung. Durch Kombination beider lassen sich Oberflächenkonzentration und Übergangstiefe getrennt einstellen. Bei realen Diffusionen hoher Konzentration weichen sie von diesen idealen Formen ab.