Oxidatie en diffusie

Welke uitleg over 'diffusie' van onzuiverheden in de halfgeleiderproductie is juist?

  1. AEen methode waarbij onzuiverheden met een elektrisch veld in één richting worden versneld en ingeschoten
  2. BOnzuiverheden in een vloeistof oplossen en wegspoelen
  3. CHet verschijnsel waarbij onzuiveringsatomen zich door warmte verspreiden van plaatsen met hoge concentratie naar plaatsen met lage concentratie
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Het verschijnsel waarbij onzuiveringsatomen zich door warmte verspreiden van plaatsen met hoge concentratie naar plaatsen met lage concentratie

Diffusie is het verschijnsel waarbij onzuiverheden zich door thermische beweging van atomen verspreiden van gebieden met hoge naar gebieden met lage concentratie, en het verloopt sneller naarmate de temperatuur hoger is. Onzuiverheden in silicium bewegen zich voort door van plaats te wisselen met vacatures (gaten waar een atoom ontbreekt) en interstitieel silicium. Vroeger werd dit verschijnsel gebruikt om onzuiverheden vanaf het oppervlak in te brengen, maar tegenwoordig vindt diffusie meestal plaats tijdens de warmtebehandeling na het inbrengen met ionenimplantatie, en is het de uitdaging die te onderdrukken.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Oxidatie en diffusie

  1. Welk gangbaar gebruik van thermische oxidefilm van silicium is juist?
  2. Welke eenheid van de diffusiecoëfficiënt D is juist?
  3. Welke inhoud van de eerste wet van Fick is juist? (J: diffusieflux, D: diffusiecoëfficiënt, C: concentratie, x: positie)
  4. Hoeveel keer zo groot wordt de afstand waarover onzuiverheden zich verspreiden ongeveer wanneer de diffusietijd bij dezelfde temperatuur 4 keer zo lang wordt?
  5. Welke combinatie van verdelingsvormen is juist voor diffusie bij constant gehouden oppervlakteconcentratie (constante-oppervlakteconcentratiediffusie) en diffusie van een vaste hoeveelheid onzuiverheden (eindige-hoeveelheidsdiffusie)?