Welches Problem tritt auf, wenn das Gateoxid bewegliche Ionen wie Natriumionen enthält?

Antwort: B. Die Ionen wandern durch elektrisches Feld und Temperatur, und die Einsatzspannung schwankt

Alkalimetallionen wie Natrium sind im Oxidfilm leicht beweglich; wandern sie unter dem Einfluss von elektrischem Feld und Temperatur (z. B. um 200 °C) zur Grenzfläche, verschieben sie als positive Ladung die Einsatzspannung. Dies war in den 1960er Jahren die größte Ursache der Instabilität von MOS-Bauelementen, und sie gelangen auch durch menschlichen Schweiß und Geräte hinein. Durch Kontaminationskontrolle im Reinraum, Chloroxidation und Einfangen durch Phosphorglas (PSG) wurde Abhilfe geschaffen, sodass die MOS-Technik praxistauglich wurde.