Metrologie en analyse
Welke methode detecteert de kleine warmteontwikkeling van een werkende chip met hoge gevoeligheid door het toegevoerde vermogen periodiek te variëren en gesynchroniseerde warmtebeelden op te tellen, en lokaliseert zo de foutplek?
- ALock-in-thermografie
- BEllipsometrie
- CSIMS
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Lock-in-thermografie
Bij lock-in-thermografie wordt de aan de chip aangelegde spanning met een vaste periode aan- en uitgeschakeld en worden alleen de met die periode gesynchroniseerde infraroodwarmtebeelden opgeteld, om de plek te detecteren waar een geringe warmteontwikkeling in de orde van µW optreedt, bijvoorbeeld door een kortsluiting. Omdat ruis zonder verband met de periode door het optellen wegvalt, is de gevoeligheid ordes van grootte hoger dan bij gewone warmtebeelden. Omdat de plaats ook van buiten de behuizing kan worden ingekaderd, wordt de methode in het begin van foutanalyse toegepast.