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MEMS et capteurs

Quel dispositif MEMS est utilisé pour balayer un faisceau laser, notamment dans les LiDAR automobiles ?

  1. AMicrophone MEMS
  2. BAccéléromètre
  3. CMiroir MEMS (micromiroir mobile qui balaie la lumière)
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Réponse : C. Miroir MEMS (micromiroir mobile qui balaie la lumière)

Le miroir MEMS est un dispositif qui fait résonner ou incline, par force électrostatique ou électromagnétique, un micromiroir d’environ 1 mm de diamètre à quelques kHz ou quelques dizaines de kHz pour modifier la direction du faisceau laser réfléchi. Plus petit et plus léger qu’un miroir polygonal entraîné par moteur, sans pièce mécanique en rotation et donc résistant aux vibrations, il sert au balayage des LiDAR, à la projection laser des affichages tête haute et des lunettes AR, aux commutateurs optiques, etc.

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