MEMS와 센서

자동차 LiDAR 등에서 레이저 광을 주사(scan)하기 위해 사용되는 MEMS 디바이스는?

  1. AMEMS 마이크로폰
  2. B가속도 센서
  3. CMEMS 미러(빛을 주사하는 미소한 가동 미러)
정답과 해설 보기

정답: C. MEMS 미러(빛을 주사하는 미소한 가동 미러)

MEMS 미러는 직경 1 mm 안팎의 미소한 거울을 정전기력이나 전자기력으로 수 kHz~수십 kHz로 공진시키거나 기울여, 반사한 레이저 광의 방향을 바꾸는 디바이스입니다. 모터로 회전시키는 폴리곤 미러에 비해 소형·경량이며 기계적 회전 부품이 필요 없어 진동에 강하고, LiDAR 주사, 헤드업 디스플레이나 AR 글라스의 레이저 투영, 광 스위치 등에 사용됩니다.

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MEMS와 센서의 다른 문제

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