Welches MEMS-Bauelement wird z. B. in Fahrzeug-LiDAR zum Scannen von Laserlicht verwendet?

Antwort: C. MEMS-Spiegel (winziger beweglicher Spiegel zum Scannen von Licht)

Ein MEMS-Spiegel ist ein Bauelement, bei dem ein winziger Spiegel von etwa 1 mm Durchmesser durch elektrostatische oder elektromagnetische Kraft mit einigen kHz bis einigen zehn kHz in Resonanz versetzt oder gekippt wird und so die Richtung des reflektierten Laserlichts ändert. Gegenüber motorisch gedrehten Polygonspiegeln ist er klein und leicht, kommt ohne mechanische Drehteile aus und ist daher vibrationsfest; er wird beim Scannen von LiDAR, bei der Laserprojektion in Head-up-Displays und AR-Brillen sowie in optischen Schaltern eingesetzt.