MEMS・センサ

自動車のLiDARなどで、レーザー光を走査するために使われるMEMSデバイスはどれか。

  1. AMEMSマイクロフォン
  2. B加速度センサ
  3. CMEMSミラー(光を走査する微小な可動ミラー)
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正解：C. MEMSミラー(光を走査する微小な可動ミラー)

MEMSミラーは、微小な鏡を静電気力や電磁力などで高速に傾けて、反射させたレーザー光の向きを変えるデバイスです。小型で機械的な回転部品が不要なため、LiDARやレーザー投影ディスプレイなどでの利用が進められています。

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