Wie heißt die auf dem Wafer vorgesehene Markierung, mit der bei der Belichtung das nächste Muster exakt über das im vorherigen Prozess erzeugte Muster gelegt wird?

Antwort: A. Alignment-Marke

Alignment-Marken sind Strukturen wie Gitter zur Ausrichtung, die außerhalb der Chips auf dem Wafer (z. B. auf den Scribe Lines) angelegt werden. Die Belichtungsanlage erfasst sie über Lichtbeugung o. Ä., korrigiert Position, Drehung und Streckung des Wafers sowie sogar lokale Verformungen innerhalb des Wafers und legt die nächste Lage exakt über das Muster der vorherigen. Auf einem Wafer werden mitunter einige zehn Marken vermessen, und die Marken selbst werden so ausgelegt, dass sie durch die Prozesse nicht zerstört werden.