Lithografie

Was bedeutet der als Maß der Miniaturisierung verwendete „Half Pitch“?

  1. ADie Hälfte der Kantenlänge eines Chips
  2. BDer halbe Durchmesser des Wafers
  3. CDie Hälfte der Periode (Pitch) aus Linie und Abstand einer sich wiederholenden Struktur
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Antwort: C. Die Hälfte der Periode (Pitch) aus Linie und Abstand einer sich wiederholenden Struktur

Bei sich wiederholenden Strukturen aus Linie und Abstand ist die Länge aus einer Linie und einem Abstand der Pitch, die Hälfte davon der Half Pitch. Sind Linienbreite und Abstand gleich, entspricht der Half Pitch der Linienbreite. Früher war der Half Pitch des DRAM der Name der Generation (z. B. 90-nm-Generation). Da die Auflösungsgrenze eigentlich vom Pitch bestimmt wird, wird die Miniaturisierung bei Logik heute am kleinsten Leitbahnpitch oder Gatepitch (CPP) verglichen.

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