Welke eigenschap van een scanner-belichtingsapparaat is juist?

Antwoord: C. Belichting terwijl masker en wafer synchroon bewegen ten opzichte van een spleetvormige lichtbundel

Een scanner belicht één shot (26 × 33 mm) door alleen een spleetvormig gebied van enkele mm breed met licht te bestralen en masker en wafer synchroon in tegengestelde richting te scannen met een snelheidsverhouding van 4:1. Alleen het midden van de lens met weinig aberraties kan worden gebruikt, een gebied dat lang is in de scanrichting kan worden belicht, en ook de variatie binnen een shot wordt uitgemiddeld. Het stage houdt een nauwkeurigheid in nm terwijl het met een versnelling van enkele m/s² beweegt. Een apparaat dat stilstaand in één keer belicht, is een stepper.