Welches Merkmal von Scanner-Belichtungsanlagen ist richtig?

Antwort: C. Es wird belichtet, indem Maske und Wafer synchron relativ zu einem schlitzförmigen Lichtstrahl bewegt werden

Ein Scanner beleuchtet nur einen schlitzförmigen Bereich von wenigen mm Breite und belichtet einen Shot (26×33 mm), indem Maske und Wafer synchron mit einem Geschwindigkeitsverhältnis von 4:1 in entgegengesetzte Richtungen gescannt werden. Es kann nur der mittlere Linsenbereich mit geringen Aberrationen genutzt werden, in Scanrichtung lassen sich lange Bereiche belichten, und Streuungen innerhalb eines Shots werden gemittelt. Die Tische bewegen sich mit Beschleunigungen von einigen m/s² und halten dabei nm-Genauigkeit. Der Stepper dagegen belichtet im Stillstand auf einmal.