Welke ionenimplanter wordt vooral gebruikt voor implantaties met een gemiddelde dosis, zoals de drempelspanningsinstelling van MOSFET's en wells?

Antwoord: B. Medium-current-ionenimplanter

Ionenimplanters worden naar dosis- en energiebereik ingedeeld in medium-current (zoals drempelspanningsinstelling en halo-implantatie, 10¹¹-10¹⁴ cm⁻²), high-current (hoge dosis zoals source en drain) en high-energy (zoals diepe wells). Medium-current-apparaten hebben een dunne, stabiele bundel en zijn uitstekend in nauwkeurige regeling van dosisnauwkeurigheid en implantatiehoek (in stappen van 0,1°), en worden gebruikt voor implantaties waarbij een hoekafwijking rechtstreeks de transistoreigenschappen beïnvloedt.