Hoe groot is de energie van tweewaardige ionen (dubbele lading) die in een ionenimplanter met een versnelspanning van 50 kV worden versneld?

Antwoord: A. 100 keV

De energie die een ion krijgt wordt bepaald door „lading × versnelspanning”: 50 keV voor eenwaardig, 100 keV voor tweewaardig en 150 keV voor driewaardig. Met deze eigenschap kan met een energie hoger dan de maximale spanning van het apparaat worden geïmplanteerd, wat wordt gebruikt voor onder meer de vorming van diepe wells. Meerwaardige ionen worden in de ionenbron echter in kleine hoeveelheden gevormd en de bundelstroom is klein, dus ze zijn niet geschikt voor hoge dosis. Omgekeerd worden moleculaire ionen gebruikt om de energie te verlagen.