1가 이온을 면적 100 cm²의 웨이퍼에 도즈량 1×10¹⁵ ions/cm²로 주입한다. 빔 전류가 1 mA일 때 필요한 주입 시간은 대략 얼마인가? (기본 전하 1.6×10⁻¹⁹ C)

정답: C. 약 16초

주입할 이온의 총수는 1×10¹⁵ × 100 = 1×10¹⁷ 개이고, 그 전하는 1×10¹⁷ × 1.6×10⁻¹⁹ = 1.6×10⁻² C입니다. 전류 1 mA = 1×10⁻³ C/s로 나누면 16초가 됩니다. 실제 장치에서는 빔의 일부가 웨이퍼 바깥에 닿고 왕복 주사 시간도 더해지므로 더 오래 걸립니다. 대전류 장치에서 수십 mA의 빔을 쓰는 것은 고도즈 주입의 생산성을 높이기 위해서입니다.