Geavanceerde transistoren (FinFET, GAA)
Welke structuur brengt de nMOS- en pMOS-nanosheets dichter bij elkaar met een dunne isolerende wand ertussen, waardoor de celoppervlakte kleiner wordt?
- AFD-SOI
- BPlanaire MOSFET
- CForksheet-FET
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Forksheet-FET
Een forksheet-FET is een structuur waarbij de nMOS- en pMOS-nanosheets aan weerszijden van een diëlektrische wand van circa tien nm dik zijn geplaatst, als de tanden van een vork. Bij gewone GAA is tussen n en p een afstand van enkele tientallen nm nodig, maar door de wand ertussen kan die sterk kleiner worden en kan de oppervlakte van standaardcellen en SRAM worden verkleind. Het verschil met GAA is dat de gate de sheet van drie kanten omsluit, en de forksheet is een kandidaat voor een generatie tussen GAA en CFET.
Verder: nog 9 vragen over Geavanceerde transistoren (FinFET, GAA)