Geavanceerde transistoren (FinFET, GAA)

Hoe heet het verschijnsel dat bij kleine transistoren de drempelspanning spreidt door statistische variatie in het aantal en de positie van onzuiverheidsatomen in het kanaal?

  1. ARandom dopant fluctuation (RDF)
  2. BElektromigratie
  3. CTijdsafhankelijke diëlektrische doorslag (TDDB)
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Random dopant fluctuation (RDF)

Naarmate transistoren kleiner worden, bevat het kanaal slechts enkele tientallen tot honderden onzuiverheidsatomen, en door toevallige variatie in hun aantal en plaatsing spreidt de drempelspanning met wel enkele tientallen mV. De spreiding is ongeveer evenredig met '1/√(gateoppervlak)' (wet van Pelgrom) en vormt vooral een probleem in schakelingen zoals SRAM, waarin veel elementen met minimale afmetingen worden gebruikt. FinFET's en FD-SOI, waarvan het kanaal ongedoteerd kan zijn, hebben ook op dit punt een voordeel.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Geavanceerde transistoren (FinFET, GAA)

  1. Welk ontwerpvoordeel van nanosheet-GAA-transistoren ten opzichte van FinFET's is juist?
  2. Welke techniek, die zijwandspacers gebruikt om patronen te maken die fijner zijn dan de limiet van lithografie, wordt gebruikt om de smalle vinnen van FinFET's te maken?
  3. Waarom wordt bij de productie van nanosheet-GAA-transistoren uit de laag van afwisselend gestapeld Si en SiGe alleen de SiGe-laag selectief verwijderd?
  4. Welke oorzaak van zelfopwarming, die vaak een probleem is bij FinFET's en SOI-transistoren, is juist?
  5. Welke factor die de prestaties beperkt, wordt belangrijker bij transistoren die steeds verder zijn verkleind?

Vergelijkingen bij dit onderwerp