Epitaxiale groei

Hoe heet de grens van een gebied in het kristal waar de volgorde van Ga en As is omgekeerd, die gemakkelijk ontstaat wanneer een polaire samengestelde halfgeleider zoals GaAs op een niet-polair siliciumsubstraat wordt gegroeid?

  1. AAntifasegrens (APB)
  2. BTweelinggrens
  3. CKorrelgrens
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Antifasegrens (APB)

Wanneer een polaire samengestelde halfgeleider zoals GaAs op niet-polair silicium wordt gegroeid, groeien aan weerszijden van een trap van één atoomlaag op het oppervlak gebieden waarin de posities van Ga en As zijn verwisseld, en op de grens daartussen ontstaat een antifasegrens (APB). Een APB bevat onjuiste Ga-Ga- en As-As-bindingen, die als elektrische defecten werken. Tegenmaatregelen zijn onder meer een substraat met off-angle te gloeien zodat trappen van twee atoomlagen ontstaan en de groei in sleuven uit te voeren om APB's op te sluiten.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Epitaxiale groei

  1. Hoe heet het verschijnsel dat bij epitaxiale groei van SiC meerdere atoomstappen op het oppervlak samenkomen tot een grote trap, waardoor het oppervlak ruw wordt?
  2. Welke uitspraak over epitaxiale groei is juist?
  3. Welk voorbeeld van heteroepitaxiale groei is juist?
  4. Waarvoor wordt MOCVD (metaalorganische chemische dampafzetting) vooral gebruikt?
  5. Welk probleem treedt vooral op wanneer het verschil in roosterconstante tussen substraat en gegroeide film (roostermismatch) groot is?