Croissance épitaxiale

Lors de la croissance d'un semi-conducteur composé polaire comme le GaAs sur un substrat de silicium non polaire, comment appelle-t-on la frontière entre domaines où l'arrangement Ga/As est inversé ?

  1. AParoi d'antiphase (APB)
  2. BJoint de macle
  3. CJoint de grain
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Réponse : A. Paroi d'antiphase (APB)

Lors de la croissance d'un composé polaire comme le GaAs sur du silicium non polaire, des domaines où les positions du Ga et de l'As sont permutées croissent de part et d'autre des marches monoatomiques de surface, et des parois d'antiphase (APB) apparaissent à leur frontière. Les APB comportent des liaisons incorrectes Ga-Ga ou As-As et constituent des défauts électriques. Les remèdes consistent à recuire un substrat désorienté pour obtenir des marches biatomiques, ou à faire croître dans des tranchées pour y confiner les APB.

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