Epitaxie

Wie heißt die Grenze zwischen Bereichen im Kristall, in denen die Anordnung von Ga und As vertauscht ist und die beim Wachstum polarer Verbindungshalbleiter wie GaAs auf unpolaren Siliziumsubstraten leicht entsteht?

  1. AAntiphasengrenze (APB)
  2. BZwillingsgrenze
  3. CKorngrenze
Antwort und Erläuterung anzeigen

Antwort: A. Antiphasengrenze (APB)

Wächst eine polare Verbindung wie GaAs auf unpolarem Silizium, wachsen auf beiden Seiten einer einatomaren Stufe der Oberfläche Bereiche mit vertauschten Positionen von Ga und As, und an der Grenze entsteht eine Antiphasengrenze (APB). In der APB gibt es falsche Ga-Ga- und As-As-Bindungen, die elektrische Defekte darstellen. Gegenmaßnahmen sind das Tempern von Substraten mit Offcut-Winkel, um Doppelstufen (zweiatomige Stufen) zu erzeugen, und das Wachstum in Gräben, um die APB einzuschließen.

Dieses Thema üben Zur Themenseite

Weitere Fragen zu Epitaxie

  1. Wie heißt das Phänomen beim epitaktischen Wachstum von SiC, bei dem sich mehrere atomare Stufen der Oberfläche zu großen Stufen zusammenlagern und die Oberfläche rau wird?
  2. Welche Aussage zum epitaktischen Wachstum ist richtig?
  3. Welches Beispiel für heteroepitaktisches Wachstum ist richtig?
  4. Wofür wird MOCVD (metallorganische Gasphasenabscheidung) hauptsächlich eingesetzt?
  5. Welches Problem tritt bei großem Unterschied der Gitterkonstanten von Substrat und aufgewachsener Schicht (Gitterfehlanpassung) leicht auf?