Welke techniek laat een laag alleen op bepaalde plaatsen groeien door gebruik te maken van verschillen in oppervlaktemateriaal?

Antwoord: C. Gebiedsselectieve depositie (area-selective deposition)

Gebiedsselectieve depositie is een techniek waarbij een laag alleen op de benodigde plaatsen wordt gevormd door gebruik te maken van het verschil in reactiviteit van het onderliggende materiaal, bijvoorbeeld wel op metaal en niet op een isolator. Er bestaat ook een methode waarbij oppervlakken waarop niet mag worden afgezet, met een zelfgeordende monolaag (SAM) worden bedekt om reactie te voorkomen. Omdat lithografie- en etsstappen kunnen worden bespaard en er geen uitlijnfout is, wordt de toepassing op onder meer fijne bedrading onderzocht.