Wat is de juiste basismanier van opbouw in het productieproces van LSI?

Antwoord: B. Processen als depositie, lithografie en etsen worden tientallen keren herhaald en er worden lagen opgebouwd

LSI wordt gemaakt door stappen als het aanbrengen van lagen (depositie), het overbrengen van patronen (lithografie), het verwijderen van ongewenste delen (etsen), het toevoegen van onzuiverheden, planariseren en reinigen te herhalen en zo de transistors en meer dan tien bedradingslagen op elkaar te stapelen. Bij geavanceerde logica bedraagt het aantal processtappen meer dan 1000 en duurt het van het inbrengen van de wafer tot het gereed zijn circa drie maanden. In elke fase van deze herhaling worden ook inspectie en metrologie uitgevoerd.