Laagafzetting (CVD, PVD)
Welk voordeel heeft vacuümopdampen waarbij het materiaal met een elektronenbundel wordt verhit?
- AOok materialen met een hoog smeltpunt kunnen worden verdampt
- BDe stapdekking is zeer hoog
- CDe laag wordt gevormd door een chemische reactie van brongassen
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Ook materialen met een hoog smeltpunt kunnen worden verdampt
Bij opdampen met een elektronenbundel wordt een met enkele kV versnelde elektronenbundel op het materiaal geconcentreerd om het te verhitten, zodat ook wolfraam, molybdeen en oxiden, die met weerstandsverhitting moeilijk smelten, kunnen worden verdampt, en de verontreiniging uit de smeltkroes gering is. Omdat de verdampte atomen rechtlijnig bewegen, is de stapdekking laag; deze eigenschap wordt benut bij lift-off, waarbij een laag op het resist wordt afgezet en het ongewenste deel samen met het resist wordt verwijderd om elektroden te vormen.