Welke richtwaarde voor de grootte van de schuurdeeltjes in CMP-slurry is juist?

Antwoord: C. Circa enkele tientallen tot ruim honderd nm

De schuurdeeltjes in CMP-slurry zijn zeer fijne deeltjes van circa enkele tientallen tot ruim honderd nm. Omdat zelfs enkele grove deeltjes groter dan 1 µm per mL vloeistof krassen kunnen veroorzaken, worden niet alleen de grootteverdeling maar ook het aantal grove deeltjes streng beheerd. De vorm van de deeltjes (bolvormig of onregelmatig) en de hardheid beïnvloeden ook de polijstsnelheid en de gevoeligheid voor krassen, en recent wordt ook gewerkt aan zachte organische deeltjes.