CMP와 세정
CMP 슬러리 연마 입자 크기의 기준으로 올바른 것은?
- A수 mm 정도
- B수 cm 정도
- C수십~백수십 nm 정도
정답과 해설 보기
정답: C. 수십~백수십 nm 정도
CMP 슬러리의 연마 입자는 수십~백수십 nm 정도의 매우 미세한 입자입니다. 1 µm를 넘는 조대 입자가 액체 1 mL에 몇 개만 섞여도 스크래치의 원인이 되므로, 입자 크기 분포뿐만 아니라 조대 입자의 개수도 엄격하게 관리됩니다. 입자의 형상(구형인지 부정형인지)과 경도도 연마 속도와 흠집 발생 용이성에 영향을 미치며, 최근에는 무른 유기 입자 등의 개발도 진행되고 있습니다.