Was wird bei Präzisionsanlagen wie Belichtungsgeräten verwendet, um den Einfluss von über den Boden übertragenen Schwingungen zu verringern?

Antwort: A. Schwingungsisolationstisch (z. B. aktive Schwingungsisolation)

Präzisionsanlagen wie Belichtungsgeräte und Elektronenmikroskope verlieren schon bei geringen Schwingungen an Genauigkeit. Sie werden daher auf Schwingungsisolationstischen aufgestellt, etwa mit Federn oder Luftfedern oder mit einer aktiven Schwingungsisolation, die Schwingungen per Sensor erfasst und mit einer Gegenkraft auslöscht. Auch das Fabrikgebäude wird mit dicken Böden und kräftigen Stützen schwingungsarm ausgelegt, und Schwingungsquellen wie Pumpen stehen auf einem separaten Boden. Luftbefeuchter und FOUP sind keine Einrichtungen zur Schwingungsdämpfung.