積層欠陥란?
せきそうけっかん
結晶の原子面の積み重なりの順序が乱れた面状の欠陥。スタッキングフォルトとも呼ぶ。エピ層や熱酸化(OSF)、SiCの結晶などで問題になる。
일본어 명칭: 積層欠陥
분야: 에피택셜 성장
관련 용어
4H-SiC 格子不整合 貫通転位 臨界膜厚 選択エピタキシャル成長 超格子 横方向エピタキシャル成長(ELO) HVPE(ハイドライド気相成長) MBE(分子線エピタキシー) MOCVD(有機金属気相成長)
せきそうけっかん
結晶の原子面の積み重なりの順序が乱れた面状の欠陥。スタッキングフォルトとも呼ぶ。エピ層や熱酸化(OSF)、SiCの結晶などで問題になる。
일본어 명칭: 積層欠陥
분야: 에피택셜 성장
4H-SiC 格子不整合 貫通転位 臨界膜厚 選択エピタキシャル成長 超格子 横方向エピタキシャル成長(ELO) HVPE(ハイドライド気相成長) MBE(分子線エピタキシー) MOCVD(有機金属気相成長)