HVPE(ハイドライド気相成長)란?

えいちぶいぴーいー

塩化水素とガリウムの反応で生じた塩化ガリウムとアンモニアを使う気相成長法。成長速度が非常に速く、GaNの自立基板をつくる厚い結晶の成長に使われる。

일본어 명칭: HVPE(ハイドライド気相成長)

분야: 에피택셜 성장