MBE(分子線エピタキシー)란?

えむびーいー

超高真空中で、原料を分子線として基板に供給してエピタキシャル成長させる方法。膜厚や組成を原子層レベルで精密に制御でき、化合物半導体の研究や量子構造の作製に使われる。

일본어 명칭: MBE(分子線エピタキシー)