실리콘 웨이퍼

CZ법으로 단결정 인상을 마칠 때 잉곳의 직경을 서서히 가늘게 하여(테일을 줄여) 융액에서 분리하는 주된 이유는 무엇인가?

  1. A산소 농도를 높이기 위해
  2. B융액에서 갑자기 분리하면 열충격으로 슬립 전위가 들어가 결정 속까지 전파되는 것을 막기 위해
  3. C잉곳을 가볍게 하기 위해
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정답: B. 융액에서 갑자기 분리하면 열충격으로 슬립 전위가 들어가 결정 속까지 전파되는 것을 막기 위해

굵은 직경 그대로 융액에서 분리하면 급격한 온도 변화에 의한 열응력으로 전위가 발생하고, 이것이 직경 길이 정도까지 결정의 위쪽으로 전파되어 제품이 되는 직동부를 손상시킵니다. 직경을 원뿔 모양으로 서서히 줄인 뒤 분리하면 이 전위의 발생과 전파를 막을 수 있습니다. 숄더와 테일은 제품이 되지 않으므로 그 길이를 줄이는 것도 비용 절감의 과제입니다.

  • A. 산소 농도를 높이는 것이 목적은 아닙니다.
  • B. 옳습니다. 열충격에 의한 전위의 발생과 전파를 막습니다.
  • C. 가볍게 하는 것이 목적은 아닙니다.
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