실리콘 웨이퍼
비소나 안티모니를 고농도로 첨가한 저저항 n⁺ 실리콘 웨이퍼의 주된 용도로 올바른 것은?
- A이미지 센서의 수광층 그 자체
- B태양전지의 반사 방지막
- C저농도 에피택셜층을 성장시키는 기판이나, 수직형 파워 디바이스의 드레인 쪽 기판
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정답: C. 저농도 에피택셜층을 성장시키는 기판이나, 수직형 파워 디바이스의 드레인 쪽 기판
고농도의 저저항(0.001~0.01 Ω·cm 정도) n⁺ 웨이퍼는 그 위에 저농도 에피택셜층을 성장시킨 에피 웨이퍼의 기판으로 사용됩니다. 수직형 파워 MOSFET나 다이오드에서는 전류가 기판을 수직으로 흐르므로 기판의 저항을 낮추면 온 저항을 낮출 수 있습니다. 편석과 증발 특성에 따라 비소, 안티모니, 인이 구분되어 사용되며, 에피층으로의 스며나옴(오토 도핑) 억제가 과제입니다.
- A. 수광층에는 저농도 층이 사용됩니다.
- B. 반사 방지막은 질화막 등이며 기판의 역할이 아닙니다.
- C. 옳습니다. 에피 웨이퍼의 기판이나 수직형 파워 소자의 기판에 사용됩니다.