실리콘 웨이퍼

CZ법으로 p형 실리콘 결정을 만들 때 융액에 첨가하는 대표적인 불순물은 무엇인가?

  1. A인(P)
  2. B비소(As)
  3. C붕소(B)
정답과 해설 보기

정답: C. 붕소(B)

p형으로 만들려면 III족 원소인 붕소를 융액에 첨가합니다. 붕소는 편석 계수가 약 0.8로 1에 가까워 잉곳의 위아래에서 농도가 비교적 고르므로 다루기 쉬운 불순물입니다. n형으로 만들 때는 인, 비소, 안티모니 등의 V족 원소를 사용합니다. 결정의 저항률은 첨가량으로 정해지며, LSI용으로는 1~20 Ω·cm 정도의 p형이 많이 사용됩니다.

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