공정 재료(가스와 케미칼)
Cu 배선의 전해 도금에 쓰이는 도금액의 주성분으로 올바른 것은 무엇입니까?
- A황산구리를 주성분으로 하고 매립 방식을 제어하는 첨가제를 더한 액
- B염화나트륨 수용액
- C순수만
정답과 해설 보기
정답: A. 황산구리를 주성분으로 하고 매립 방식을 제어하는 첨가제를 더한 액
Cu 도금액은 황산구리와 황산에 염화물 이온을 더하고, 촉진제, 억제제, 평활제의 3종류 유기 첨가제를 미량 포함시킨 것입니다. 억제제가 홈의 상부와 표면에서 석출을 억제하고 촉진제가 홈의 바닥에 모여 석출을 빠르게 하므로, 바닥에서부터 채워 올라가는 바텀업 성장(슈퍼필링)이 일어나 보이드 없는 매립이 가능합니다. 식염수나 순수로는 Cu를 석출시킬 수 없습니다.